日立SEM二手S-4300 SEM EDX 掃描電鏡 核心參數
電子槍: 場發(fā)射 加速電壓: 0.3kV～30kV
放大倍數: x 20~ x 800,000 分辨率: 1.2nm
抽真空時間: 30秒 真空度: ＜1*10-7

日立SEM二手S-4300詳細介紹
S-4300高分辨冷場發(fā)射掃描電子顯微鏡 日立S4800掃描電子顯微鏡采用大樣品室的半內透鏡設計，卻能達到超高分辨率，可以與內透鏡UHR掃描電鏡相媲美。
特點：
1. 新型物鏡采用ExB設計。使用單檢測器和超級ExB可以分別收集和分離單純 二次電子、混合二次電子及背散射電子的信號。
2. 1KV低加速電壓時保證有2.0nm的分辨率。
3. 兩種樣品臺可選：I型50mm x 50mm小樣品臺或Ⅱ型110mm x 110mm大樣品臺。
4. 包括渦輪分子泵在內的*進的真空系統(tǒng)。
5. 便于用戶使用的、基于圖形用戶界面的控制系統(tǒng)，包含多種自動功能，
操作簡易性能指標： 二次電子分辨率 1.0nm (15kV) 2.0nm (1 kV) 1.4nm (1 kV，減速模式)
電子槍 冷場發(fā)射電子源
加速電壓 0.5~30kV(0.1KV/步，可變)
放大倍率 x 20~ x 800,000
物鏡光闌 4孔，真空外選擇和調校(內置加熱器)
檢測器 二次電子檢測器 (高位/低位) 背散射電子檢測器(可選) EDX(可選) 透射電子檢測器(可選) 法拉第杯(可選)
樣品臺 l型: X: 0~50mm Y: 0~50mm Z:1.5~30mm T: -5°~70°R:360°
驅動:手動(可選3軸/5軸馬達驅動) ll型: X: 0 ~110 mm Y: 0 ~110mm Z: 1.5 ~40 mm T: -5°~ 70° R: 360°驅動: 5軸馬達驅動
操作/顯示 操作系統(tǒng)： WindowsTM XP
圖像儲存 640 x 480, 1,280 x 960, 2,560 x 1,920,5,120 x 3,840
離子泵 3 臺 渦輪分子泵(磁浮型) 1 臺 機械泵 1 臺