二手場(chǎng)發(fā)射顯微鏡SEM：儀器簡介

    掃描電子顯微鏡因其分辨率高、景深大、圖像更富立體感、放大倍數(shù)可調(diào)范圍寬等優(yōu)點(diǎn)而被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、無機(jī)非金屬材料及器件等的檢測(cè)。隨著我國經(jīng)濟(jì)的迅速發(fā)展，高校、科研單位、企業(yè)等大量引進(jìn)了場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡

查看環(huán)境條件

   掃描電子顯微鏡的使用環(huán)境條件主要涉及溫度、濕度、震動(dòng)、磁場(chǎng)強(qiáng)度、接地等幾個(gè)因素。一般情況下，環(huán)境溫度需控制在22～25℃，相對(duì)濕度以小于70%為宜，保證實(shí)驗(yàn)室清潔整齊，避免大聲喧嘩及震動(dòng)、磁場(chǎng)的干擾。溫濕度控制需配備空調(diào)和除濕機(jī)，特別是在南方地區(qū)一定要保證對(duì)濕度的控制，避免溫濕度對(duì)電鏡電子部件的影響。

檢查光學(xué)系統(tǒng)

    電子光學(xué)系統(tǒng)是由電子槍、電磁透鏡、掃描線圈組成的，也是掃描電子顯微鏡的核心部分。為保證電子束沿這些部件的軸線穿行，必須調(diào)節(jié)這些部件合軸，即光闌對(duì)中。而電鏡初學(xué)者往往一味地進(jìn)行調(diào)焦、變倍操作，可是得到的圖像仍不清楚，于是懷疑電鏡出現(xiàn)故障。

檢查真空系統(tǒng)

     電鏡中的真空系統(tǒng)一般由真空泵、管道、真空測(cè)量裝置組成。高真空度可減少電子與氣體分子的碰撞，增加燈絲壽命，所以必須高度關(guān)注真空系統(tǒng)，定期記錄系統(tǒng)真空和槍真空數(shù)值，或是打開真空監(jiān)控器（Gun　Monitor）實(shí)時(shí)監(jiān)控真空值。對(duì)于ULTRA　PLUS掃描電子顯微鏡，需保證系統(tǒng)真空值不小于5.0×10－4Pa，槍真空不低于1.0×10－7Pa。若真空值低于正常狀態(tài)需進(jìn)行必要的檢查和維護(hù)保養(yǎng)，如檢查各真空系統(tǒng)部件或進(jìn)行烘烤操作。

應(yīng)用范圍

   場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡，廣泛用于生物學(xué)、醫(yī)學(xué)、金屬材料、高分子材料、化工原料、地質(zhì)礦物、商品檢驗(yàn)、產(chǎn)品生產(chǎn)質(zhì)量控制、寶石鑒定、考古和文物鑒定及公安刑偵物證分析。可以觀察和檢測(cè)非均相有機(jī)材料、無機(jī)材料及在上述微米、納米級(jí)樣品的表面特征。該儀器的最大特點(diǎn)是具備超高分辨掃描圖像觀察能力，尤其是采用新數(shù)字化圖像處理技術(shù)，提供高倍數(shù)、高分辨掃描圖像，并能即時(shí)打印或存盤輸出，是納米材料粒徑測(cè)試和形貌觀察*儀器。也是研究材料結(jié)構(gòu)與性能關(guān)系所*的重要工具。

二手場(chǎng)發(fā)射顯微鏡SEM：場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡的案例分析

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